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芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺采用機構(gòu)放大設計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動，內(nèi)部采用高可靠性壓電陶瓷驅(qū)動，實現(xiàn)X軸zui大220μm的 位移，可以配置閉環(huán)傳感實現(xiàn)高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學掃描。平臺可以通過疊加轉(zhuǎn)接的方式 實現(xiàn)二維、三維運動。
芯明天放大機構(gòu)式壓電掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺特性
• zui大位移220μm
• zui大承載5kg
• 通孔尺寸：25×25mm
• 閉環(huán)重復定位精度高 • 開/閉環(huán)可選
大行程、高精度、大負載
XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機構(gòu)放大設計原理， 可以實現(xiàn)zui大220μm的位移行程，無摩擦無空回的柔性導向 機構(gòu)使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環(huán)傳感器可實現(xiàn)納 米級的定位精度，臺體通孔使其適用于顯微掃描等應用。
優(yōu)異的結(jié)構(gòu)設計使其具有非常高的剛度，承載能力大， 可帶載5kg的樣品作精密定位
1~3維掃描臺
XP-780系列壓電掃描臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規(guī)格 型號，可以自由疊加組合。
XP-780系列壓電掃描臺典型應用
• SPM掃描顯微鏡 • 干涉
• 掩模/晶圓定位 • 計量
• 生物技術 • 表面結(jié)構(gòu)分析
XP-780系列壓電掃描臺技術參數(shù)：
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型號 |
尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) |
XP-780.XS XP-780.XK |
單位 |
| 運動自由度 | X |
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| 標稱行程范圍（0~120V） | 160 | μm±20% | |
| zui大行程范圍（-20~150V） | 220 | μm±20% | |
| 傳感器類型 | SGS/- |
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| 通孔尺寸 | 25×25 | mm | |
| 閉/開環(huán)分辨率 | 10/5 | nm | |
| 閉環(huán)線性度 | 0.1/- | %F.S. | |
| 閉環(huán)重復定位精度 | 0.05/- | %F.S. | |
| 俯仰/偏航/滾動 | <50 | µrad | |
| 推/拉力 | 80/40 | N | |
| 運動方向剛度 | 0.5 | N/μm±20% | |
| 空載諧振頻率 | 200 | Hz±20% | |
| 閉/開環(huán)空載階躍時間 | 20/5 | ms±20% | |
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閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 50 |
Hz±20% |
| 行程 | 15 | ||
| zui大承載 | 5 | kg | |
| 靜電容量 | 11 | μF±20% | |
| 材質(zhì) | 鋁 |
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| 重量 | 240 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測得。
